XPS是目前应用最为广泛的一种表面分析技术手段,主要用于材料表面元素种类及其化学态的定性定量分析。X射线光电子能谱仪采用第三代微聚焦单色化X射线激发源,选择束斑面积聚焦可调范围为200um至900um,能在较低运行功率下获得高灵敏度和最佳能量分辨率。